大阪真空osakavacuum磁悬浮式控制器 电源一体型涡轮 复合）分子泵TGkine3300M

TGkine3300M
 
规　格
外观尺寸图
性能曲线
排气原理
 
 
型号	3300M	3300M-40	3400M
吸气口法兰	VG300
ISO-B320	VG300
ISO-B320	VG350
排气口法兰	KF40
KF50
抽气速度 (L/s)N2	3300
(附加金属保护网) N2	3100
H2	2700
较大压缩比 N2	>1×108
H2	3×103
极限压力(Pa) VG?ISO-B/CF	<2×10-7
 (Torr) VG?ISO-B/CF	7.5×10-9
较大气流量 (sccm)N2	2100	4000	2100
启动时间 (min)	≦10
停止时间 (min)	≦12
允许辅助压力 (Pa/Torr)	170/1.28※1
推荐辅助泵 (L/min)	≧2000
输入电压 (V)	AC200-240V
-15%+10%
相数	单相
频率 (Hz)	50-60
电流 (A)	Max. 5.9
所需电力 (kVA)	Max. 1.0
通信接口(请选择)	Parallel I/O, RS232C, RS485, Profibus, DeviceNet
防护等级	IP54
安装角度	任意
重量 (kg)VG?ISO-B/CF	69
控制器形式	一体型
特殊规格
(详情请咨询销售人员)	
-防腐蚀型	 
※1：有氮气时的可运转辅助压力
[ 使用环境温度 ]
极限压力保证环境温度是10～23℃，容许环境温度是10～40℃。
极限压力保证冷却水温是30℃以下，冷却水温是15～30℃。
[ 对应的气体种类 ]
由于排气的气体种类不同，可能导致泵内零件的老化。
关于对应的气体种类请咨询销售人员。

大阪真空osakavacuum分子泵
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