日本大阪真空osakavacuum油润滑涡轮 复合）分子泵TG203

TG203
 
规　格
外观尺寸表
性能曲线
控制器
排气原理
 
吸气口法兰
抽气速度 (L/s)N2
(附带金属保护网) N2
H2
较大压缩比 N2
H2
极限压力(Pa)VG?ISO-R/CF
 (Torr)VG?ISO-R/CF
较大气流量※1 (sccm)N2
启动时间 (min)
停止时间 (min)
允许辅助压力 (Pa/Torr)
推荐辅助泵 (L/min)
润滑油量 (mL)
安装角度
重量 (kg)
控制器型
VG100
CF100 
ISO-R100
200
140
150
1×108
4×103
<1×10-6/ < 1×10-7
<7.5×10-9/< 7.5×10-10
543
4-6
4-6
550/4.1
80
70
垂直（±10°)
11
TC203
※1：辅助泵的容量是160L/min情况下的较大容许流量
[ 使用环境温度]
极限压力保证环境温度是10～23℃。另外，容许环境温度在空冷情况下是10～32℃，水冷情况下是10～40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10～35℃。
[ 对应气体种类 ]
由于排气的气体种类不同，可能导致泵内零件的老化。关于对应的气体种类请咨询销售人员。


大阪真空osakavacuum分子泵
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