日本大阪真空osakavacuum*安装涡轮 复合）分子泵TG60F

TG60F
 
规格
外观尺寸表
性能曲线
控制器
排气原理
 
型号
吸气口法兰
抽气速度 (L/s)N2
(附带金属保护网)  N2
H2
较大压缩比 N2
H2
极限压力ISO-R/CF Pa
 ISO-R/CF Torr
较大气流量※1(sccm)自然空冷 N2
 强制空冷 N2
启动时间 (min)
允许辅助压力 (Pa/Torr)
推荐辅助泵 (L/min)
重量 (kg)※2ISO-R/CF
控制器型式※3
输入电压(V)
所需较大电力(W)
TG60F	TG60F-20
ISO-R63、CF63、(KF40)※4
60
55
22
2×107
2×103
<5×10-6 / <1×10-6
<3.8×10-8 / <7.5×10-9
10
20
1.5-2
800 (6)
≧25
3.4 / 5.4
TC65	TC66
DC24V	AC100-230V
(±10%)
120W	160VA
※1：辅助泵的容量是25L/min情况下的较大容许流量
※2：TG60F的情况。TG60F-20查看右方记载。ISO-R型…3kg CF型…5kg
※3：可选择泵和控制器一体型(TC65)或者是分离式型(TC66)
※4：关于吸气口法兰KF40的规格请另行咨询销售人员。
[ 使用环境温度 ]
极限压力保证环境温度是10～23℃。另外，容许环境温度是8～38℃
[ 对应气体种类 ]
由于排气的气体种类不同，可能导致泵内零件的老化。关于对应的气体种类请咨询销售人员。

大阪真空osakavacuum分子泵
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