大阪真空osakavacuum磁悬浮式控制器 电源一体型涡轮 复合）分子泵TGkine4200M

TGkine4200M
 
规　格
外观尺寸图
性能曲线
排气原理
 
 
型号※1	TGkine4200M
吸气口法兰	VG350
排气口法兰	KF40 / KF50
抽气速度 (L/s)N2	4200
(附加金属保护网) N2	4000
H2	2800
较大气流量 (sccm)※2,※3N2	2500
Ar	1400
较大压缩比 N2	2.0×108
H2	2000
极限压力(Pa)※4	<5×10-7
较大排气口压力(Pa)※5	160
启动时间 (min)	≦12
停止时间 (min)	≦14
输入电压 (V)	AC200-240V
相数	单相
频率 (Hz)	50-60
电流 (A)	Max. 5.9
所需电力 (kVA)	Max. 1.0
重量 (kg)	75
※1：关于型号，请咨询销售人员。
※2：1Pa?L/s(25℃)=0.543sccm(0℃、1气压)
※3：排气口的辅助压力是5000L/min情况下的数值。
※4：48小时烘烤后得到的数值。
※5：有氮气的情况下泵不会受损，可连续运转的较大排气口压力。

大阪真空osakavacuum分子泵
*安装涡轮（复合）分子泵型号
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